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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

总文献量: 173篇会议类型: 国内会议会议地点: 昆明主办单位: 中国电子学会会议日期: 2001-04-12
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氮化H2-O2合成薄栅氧抗辐照研究

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重掺硅中氧的测定

刘培东 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 应啸 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 黄笑容 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 李立本 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 阙端麟 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州)