微波功率晶体管的金属气密封装

摘要：

本文介绍了一种微波功率晶体管的金属气密封装技术——选极F型封装技术.

关键词： 微波功率晶体管 封装技术 金属气密封装

作者: 张德骏 苗庆海 曹红 张兴华 张德恒 张健

作者单位: 山东大学物理与微电子学院(济南) 北京东方半导体器件厂(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 644-647

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）