重掺硅中氧的测定

摘要：

本文研究重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω·CM)样品分别用氧体熔化分析法(GFA法,LECO RO-416测氧仪)和付立叶变换红外法(FTIR法,Nicolet410)测氧,而后用GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度.实验发现用GFA法和FTIR法测氧,二者的结果成很好的线性关系,为便于比较可将重掺硅在GFA法下的测定结果转换为FTIR法下的测定结果,文章还对影响GFA测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨.

关键词： 重掺硅 氧含量测定 气体熔化法 傅立叶变换红外法 测试参数

作者: 刘培东 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 应啸 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 黄笑容 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 李立本 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州) 阙端麟 浙江浙大海纳科技股份公司(杭州)

作者单位: 浙江大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 47-49

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）