蒙特卡罗方法模拟肖特基效应

摘要：

本文研究了肖特基效应对金属半导体接触的影响.通过采用自洽的蒙特卡罗方法,模拟了引入肖特基效应后,SBD的垫垒降低量和工作特性,验证了模拟使用的物理模型.得到了与理论计算值符合的模拟结果.分析模拟结果表明,由于肖特基效应形成的金属半导体接触势垒的降低,会在很大程度上影响金属半导体接触的输运特性.

关键词： 金属半导体接触 肖特基效应 蒙特长罗方法 电子输运

作者: 孙雷 关旭东 杜刚 刘晓彦 韩汝琦

作者单位: 北京大学微电子学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 216-219

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）