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第四届全国微米/纳米技术学术会议

总文献量: 138篇会议类型: 国内会议会议地点: 上海主办单位: 上海交通大学会议日期: 2000-06-01
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NiTi/Si复合膜微泵的制备与性能研究

徐东 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 蔡炳初 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 王莉 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 丁桂甫 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 周勇 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 俞爱斌 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海)