微机械三维结构几何尺寸的图像测量技术研究

摘要：

本文针对微机械三维几何尺寸测量问题,提出了基于CCD光电测量技术的图像测量方法,并结合硅微悬臂梁深度和平面尺寸进行了实验研究.

关键词： 微电子机械系统 MEMS 三维几何尺寸 图像测量 光电测量 CCD

作者: 王小伟 马炳和 苑伟政

作者单位: 西北工业大学微机械与微细加工技术研究室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 161-163

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）