一种新型的振子—框架式微机械陀螺

摘要：

本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获得较大的驱动幅度,利用检测端内框架和衬底之间较小的压膜阻尼效应,可提高检测模式的Q值,增大陀螺的灵敏度.同时介绍了陀螺制作的工艺流程.

关键词： 深反应离子刻蚀 微机械陀螺 驱动特性 阻尼特性

作者: 陈() 中科院上海冶金研究所 王渭源 中科院上海冶金研究所

作者单位: 传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 164-166

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）