纳米硅薄膜的最新进展及其应用前景

摘要：

论述了纳米硅薄膜的物性:量子输运特征及量子点特征.并简述了纳米硅薄膜在几个方面的应用前景.

关键词： 纳米硅薄膜 薄膜沉积 量子输运特征

作者: 何宇亮 上海维安新材料研究中心(上海)

作者单位: 南京大学物理系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 343-344

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）