NiTi/Si复合膜微泵的制备与性能研究

摘要：

NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,NiTi/Si复合驱动膜的尺寸为3mm×3mm×20um.驱动膜利用NiTi形状记忆合金(SMA)大应力应变输出和硅薄膜的弹性偏置力实现往复运动,不仅驱动效果明显,而且结构十分简单.对NiTi薄膜进行图形化和结构优化并作为形状记忆合金自加热元件,提高了驱动效率和驱动频率.测试结果表明,微泵输出最大流量达340ul/min,最高工作频率达100Hz,工作寿命已超过数百小时.

关键词： 形状记忆合金薄膜 NiTi/Si复合膜 微驱动器 微泵

作者: 徐东 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 蔡炳初 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 王莉 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 丁桂甫 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 周勇 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海) 俞爱斌 上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海)

作者单位: 上海交通大学信息存储研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 180-182

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）