微型机电系统的技术特点及其产业化分析

摘要：

本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.

关键词： 微传感器 微执行器 产业化 微电子机械系统

作者: 周兆英 叶雄英 王晓浩 刘卫丹 李莎

作者单位: 清华大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 7-12

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）