一种新型栅结构微机械陀螺的设计和制作

摘要：

本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q可达到150.

关键词： 微机械陀螺 结构参数 灵敏度

作者: 熊斌 中国科学院上海冶金研究所 黄小振 中国科学院上海冶金研究所 王跃林 中国科学院上海冶金研究所

作者单位: 传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 237-239

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）