LIGA技术之微电铸镍研究

摘要：

运用电化学测量方法,初步揭示了深层微电铸电化学反应过程的本质特点,改造完成了一套半自动多用途连续电铸设备,成功实现了深宽比大于20的微细短线条和直径10μm微细深盲孔的镍电铸.

关键词： 微电铸 镍电铸 LIGA工艺

作者: 丁桂甫 杨春生 赵小林 郭晓芸 王志民 沈天慧

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 440-442

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）