Sol-Gel方法制备硅基PZT铁电薄膜

摘要：

本文介绍了用Sol-Gel方法在硅衬底上以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁脂为原料制备PZT铁电薄膜的工艺流程.对上述方法制备的铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构.探讨了工艺过程中影响PZT铁电薄膜品质的因素.

关键词： Sol-Gel法 铁电薄膜 衍射分析

作者: 张林涛 任天令 张武全 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 297-299

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）