多功能电化学腐蚀机的研制

摘要：

对电化学腐蚀系统进行了系统的分析,并完成了用单片机系统进行数字化控制的多功能、自动化电化学腐蚀机的设计.

关键词： MEMS 自停止腐蚀 电化学腐蚀 微电子机械系统

作者: 周坤 蓝慕杰 陈伟平 王东红

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 30-32

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）