场发射压力传感器敏感膜的计算机模拟

摘要：

场发射压力传感器是一种新型的压力传感器.本文从数值计算和计算机模拟两方面分析了力敏感膜的形变特性.对两种计算结果进行了比较,得出了硅尖锥阵列体近似线性的形变特性曲线,并且求出了用表达式求解硅尖锥阵列体形变的修正值.

关键词： 场发射 压力传感器 力敏感膜 计算机模拟

作者: 刘金华 杨军 张敬平 林鸿溢

作者单位: 北京理工大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 119-121

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）