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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

总文献量: 173篇会议类型: 国内会议会议地点: 昆明主办单位: 中国电子学会会议日期: 2001-04-12
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智能剥离SOI材料表面缺陷研究

李映雪 张兴 黄如 许晓燕 罗晏 北京师范大学低能物理研究所(北京) 梁宏 北京师范大学低能物理研究所(北京) 马芙蓉 北京师范大学低能物理研究所(北京)