电子束曝光机模拟技术研究

摘要：

本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.

关键词： 电子束曝光 Monte Carlo方法 弹性散射 非弹性散射 计算机模拟技术

作者: 任黎明 陈宝钦 刘明 张建宏

作者单位: 中国科学院微电子中心光掩模实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 431-434

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）