一种实用的双层布线介质平坦化工艺技术

摘要：

本文主要介绍一种实用的双层布线介质平坦化工艺—旋涂玻璃(spin-on-glass),对SOG的分子结构、工艺流程、等离子刻蚀、平坦化等进行了简单的叙述.

关键词： 双层布线 旋涂玻璃 介质平坦化 工艺流程 等离子刻蚀 集成电路

作者: 崔伟 欧益宏 张正璠

作者单位: 信息产业部电子24所(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 236-238

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）