GaN材料用蓝宝石单晶及衬底片的研究

摘要：

蓝宝石单晶是一种用途很广的晶体材料,还是一种很好的GaN蓝光光电器件的衬底材料,本文介绍了单晶生长制备工艺及衬底片的加工工艺.

关键词： GaN材料 蓝宝石单晶 单晶生长 衬底片 制备工艺

作者: 步云英 谢礼丽 张玲 孙德海 于秉华 王皎瑜

作者单位: 天津市半导体技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 17-20

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）