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第七届全国固体薄膜学术会议
第七届全国固体薄膜学术会议
总文献量: 71篇
会议类型: 国内会议
会议地点: 广西北海
主办单位: 中国电子学会
会议日期: 2000-10-01
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TMAH刻蚀硅及对铝覆盖膜的影响
秦元菊 忻佩胜 范忠 丁玲 赖宗声
平面掺杂势垒组件的设计与研制
郭方敏 赖宗声 郑燕兰
背面软损伤(SBD)低温化学气相沉积SiO2(LTO)4”电路级硅抛光片研制
利用键合方法集成固体薄膜材料
韩伟华 余金中
TiiTiN多层膜的微观结构与硬度增强效应
潘峰 李天舒 李晖
低能离子束沉积碳膜的高温生长机理
廖梅勇 刘志凯 张建辉
GaAs反应离子刻蚀纵横比的研究
刘文楷 朱家廉 高俊华 陆建组 林世鸣
用PLD法在SI(100)上生长沿C轴取向LINbO<,3>薄膜的研究
叶龙飞 叶志镇 赵炳辉 何军辉
GaAs衬底的GaN蓝光二极管的工艺设计
孙元平 杨辉 张书明
多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用
张培玉 武国英 李婷
多孔硅光致发光温度效应研究
赵莉丽 李清山 袁淑娟
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