关键词： 硅抛光电 气相沉积 低温化学 集成电路
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）