TiiTiN多层膜的微观结构与硬度增强效应

摘要：

采用直流反应磁控溅射方法制备了Ti/TiN多层膜。结构和硬度测试结果表明多层膜硬度依赖于薄膜的调制周期和Ti与TIi层的厚度比。当两者厚度比为1:1，调制周期在30-65mm时，多层膜出现硬度增强现象，可观测到的最大硬度为23GPa；而当其厚度比为1:3时，硬度增强现象出现在调制周期为20-70nm的薄膜中，其最大硬度为21.4GPa。

关键词： Ti/TiN多层膜 微观结构 硬度

作者: 潘峰 李天舒 李晖

作者单位: 大学材料系先进材料教育部重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 89～91

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）