GaAs反应离子刻蚀纵横比的研究

关键词： GaAs反应 离子刻蚀 固体薄膜

作者: 刘文楷 朱家廉 高俊华 陆建组 林世鸣

作者单位: 中国科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 18～20

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）