关键词： PLD法 硅 LINbO<,3>薄膜
作者: 叶龙飞 叶志镇 赵炳辉 何军辉
作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 60～62
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）