多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用

摘要：

该文讨论了多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用，对两种结构的多晶硅薄膜微镜结构进行了分析。最后，提出了一种通过微机械表面硅和体硅混合工艺实现的新型微机械光开关，该开关的硅梁和微镜是由多晶硅薄膜形成的。支撑微镜的硅梁是弹性元件，避免了运动部件间及与其它部分的摩擦和磨损，大大提高了光开关的使用寿命。

关键词： 微扭转镜 微机械光开关 多晶硅薄膜 微光机电系统

作者: 张培玉 武国英 李婷

作者单位: 微米/纳米加工国家重点实验室,北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 196～198

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）