低能离子束沉积碳膜的高温生长机理

摘要：

在高温下用低能离子束沉积了非晶碳膜，用原子力显微镜，Raman谱，俄歇深度谱对其生长机理进行了研究。

关键词： 低能离子束 高温条件 生长机理 非晶碳膜

作者: 廖梅勇 刘志凯 张建辉

作者单位: 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 163～165

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）