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中国微米/纳米第六届学术年会
中国微米/纳米第六届学术年会
总文献量: 170篇
会议类型: 国内会议
会议地点: 太原
主办单位: 北京大学;中国电子科技集团公司
会议日期: 2003-08-27
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微小机电强链中的驱动器
张卫平 陈文元 赵小林 高扬 吴校生
扫描探针加工技术的新进展及扫描等离子体加工技术的研究
王海 褚家如 赵钢
基于键合技术的新型集成光学干涉仪
李以贵 惠春 宓晓宇 羽根一博
一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化
黄树森 郭南翔 黄晖 宋朝辉 李欣昕 王跃林
碳纳米管电极上的电化学行为分析
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MEMS中的封装技术研究
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3B1束线上LIGA掩模的设计研究
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