3B1束线上LIGA掩模的设计研究

摘要：

BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作.结合此研究目的,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算,分别得到了专用和兼用时3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模:Au-PI组合和Au-Si组合.

关键词： 光束线 掩模设计 组合掩模

作者: 黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇

作者单位: 中国科学院高能物理研究所,北京,100039;北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022 中国科学院高能物理研究所,北京,100039 北京工业大学国家产学研激光技术中心,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 147-150

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）