一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

摘要：

给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果.

关键词： 加速度传感器 结构优化 灵敏度 自由振动 振动频率 深反应离子刻蚀

作者: 黄树森 郭南翔 黄晖 宋朝辉 李欣昕 王跃林

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室,上海,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 305-308

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）