微小机电强链中的驱动器

摘要：

本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作为设计微小机电强链驱动器的参考.

关键词： 微小机电强链 驱动器 工作原理 机构特点 微执行器

作者: 张卫平 陈文元 赵小林 高扬 吴校生

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心,上海,200030 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心,上海,200030;中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 586-589

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）