Comparison study from sputtering, sol-gel, and ALD processes developing embedded thin film capacitors

会议类型: 国际会议

会议名称: 第七届电子封装技术国际会议（2006 7th International Conference on Electronics Packaging Technology）

会议地点: 上海

会议语种:英文

页码: 257-261

在线出版日期: 2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）