微聚焦X射线透射检查技术的应用与发展
本文总结了微聚焦X射线透射检查技术在SMT领域的应用特点。阐述了微聚焦X射线检查技术在半导体、电池、太阳能等新兴行业的应用。结果表明日联光电的微焦X射线检查设备广泛适用于上述领域，且新的应用不断扩大。通过对国内外微聚焦X射线检查设备的市场调研与技术研发，确定了日联光电未来的重点投资与研发方向在微聚焦X射线的射线源与相关的透射成像与高解析显微缺陷检查领域。
微聚焦X射线技术 透射成像 缺陷检查
刘骏
无锡日联光电有限公司
国内会议
南京
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27-34
2011-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）