基于半导体薄膜工艺的RC/RCD网络集成电路的设计与制造

摘要：

本文对无源元件集成化的优点及发展趋势进行了探讨,并在对比各种RC网络集成电路制造工艺的基础上,阐述了我公司研究的利用半导体薄膜工艺实现RC/RCD网络集成电路制造的工艺方法,并介绍了产品的主要性能及优点。

关键词： 无源元件 集成电路 电路制造 薄膜工艺

作者: 姜巍 赵晖 陶盛 孙芳魁

作者单位: 黑龙江八达通用微电子有限公司;哈尔滨工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005中国集成电路产业发展研讨会暨第八届中国半导体行业协会集成电路分会年会

会议地点: 江苏常州

会议语种:中文

页码: 89-93

在线出版日期: 2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）