洁净制程实现的洁净空气解决方案

摘要：

本文对洁净制程实现的洁净空气解决方案进行了阐述。微电子先进工艺的实现离不开合格的洁净环境,而过滤器是洁净室的“心脏”,对去除0.01μm以上微小尺寸的灰尘粒子需要合格的HEPA/ULPA过滤器,需要重点考察效率、材料抗水性、密封性以及原材料的挥发性，对去除气态分子污染物AMC则需要化学过滤器,对化学过滤器的整体性能进行检测尤为重要。

关键词： 集成电路 电路制造 空气净化 洁净技术

作者: 白晓清

作者单位: 康斐尔过滤设备有限公司上海 200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005中国集成电路产业发展研讨会暨第八届中国半导体行业协会集成电路分会年会

会议地点: 江苏常州

会议语种:中文

页码: 94-99

在线出版日期: 2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）