浅析半导体晶元代工厂的特气供应系统

摘要：

本文对特种气体在半导体晶元代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,对特种气体在晶元厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并对在晶元厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨,以便读者对整个特种气体供应系统在晶元代工厂的储存、输送与控制等有较为清楚的了解。

关键词： 半导体晶体 晶元代工 特种气体

作者: 彭志辉 黄其煜

作者单位: 上海交通大学微电子学院 200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005中国集成电路产业发展研讨会暨第八届中国半导体行业协会集成电路分会年会

会议地点: 江苏常州

会议语种:中文

页码: 100-103

在线出版日期: 2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）