PL05自动电镀线卷片的防止

摘要：

PL05自动电镀生产线长期以来卷片这一常发故障极大地影响了生产的正常进行，给公司带来了重大损失。每次卷片少则几枚，多则几十枚、近百枚，常常损失上一千个IC。不但如此，每次卷片后排除故障，清理现场，恢复生产还要占用大量的时间和人力，产品数最的损失对生产计划的完成和按时交货也时有影响。本文对自动电镀生产线卷片产生的机理、原因及防止方法进行了阐述。

关键词： 集成电路 镀膜工艺 自动电镀 卷片故障

作者: 强建新

作者单位: 首钢日电电子有限公司后工序事业部

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005中国集成电路产业发展研讨会暨第八届中国半导体行业协会集成电路分会年会

会议地点: 江苏常州

会议语种:中文

页码: 111-114

在线出版日期: 2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）