精确传输线的高精度制作技术

摘要：

本文介绍了一种精确传输线的高精度制作技术—传统工艺和现代先进工艺相结合的技术。采用该技术突破了传统掩膜版图形转移制作精细线路的瓶颈，得到了合格的产品。

关键词： 精确传输线 激光雕刻 高精度制作 掩膜版

作者: 李小刚

作者单位: 中国电子科技集团公司第十研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005秋季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 182-185

在线出版日期: 2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）