喷嘴角度和摇摆频率对蚀刻均匀性的影响

摘要：

本文分析了蚀刻机喷嘴角度和摆动频率对蚀刻均匀性的影响,并从理论上推导出其相互之间的联系。在此基础上,选择合适的喷嘴角度,对蚀刻机喷淋系统进行改造,改善了蚀刻均匀性。

关键词： 蚀刻均匀性 喷嘴角度 摇摆频率 印刷电路板

作者: 刘湘龙

作者单位: 广州市兴森电子有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005春季国际PCB技术信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 127-134

在线出版日期: 2005-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）