先进的污染控制解决方案

摘要：

洁净室和其他受控制的环境通常以空气中尘粒含量作为评级基础。洁净室内的活动都受到控制，例如空气的清洁程度、人员的进出、操作人员的衣服和活动，以及制造过程、工具和材料所造成的污染。加工工序越是具有关键性，就越是需要有清洁的环境。本文介绍了洁净室的等级,洁净室的清洁,工具的选择等先进的污染控制解决方法。

关键词： 洁净室 污染控制 环境质量

作者: 周臻

作者单位: 杜邦中国集团有限公司无纺布部

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005春季国际PCB技术信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 140-152

在线出版日期: 2005-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）