关键词： 电子元器件密封 氦质谱细检漏 氟油粗检漏
作者: 陈士新
会议类型: 国内会议
会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会
会议地点: 嘉峪关
会议语种:中文
页码: 86-90
在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）