关键词： 电压衬度像 分辨率 扫描电镜
作者: 施明哲
作者单位: 信息产业部电子五所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第八届全国可靠性物理学术讨论会
会议地点: 嘉峪关
会议语种:中文
页码: 32-36
在线出版日期: 1999-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）