共聚焦激光扫描显微镜(CF-LSM)技术简介

摘要：

作为一种微观形态学工具,光学显微镜在工业测试方面的应用,目前主要大家比较熟悉的主要是以下方面:首先,单独作为形态学工具,进行材料组织分析和外观缺陷检查,其典型的产品是金相显微镜,和立体显微镜；第二,与光栅量测结合,进行部件的精密尺寸测量,其典型的产品是工具显微镜,测量显微镜. 近年来,随着计算机软件技术的发展,显微镜与图象处理系统的结合,产生了定量金相软件,工显测量软件,一般几何测量软件等等,使其不仅可以定性分析,更能在定量化上发挥重大作用。本文以日本OLYMPUS OLS1200型产品为例，对共聚焦激光扫描显微镜做简单的介绍。

关键词： 光学显微镜 共聚焦 激光扫描显微镜 微观形态学 金相分析

作者: 夏仲琦

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 197-200

在线出版日期: 2003-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）