SOI技术和应用

摘要：

本文论述了SOI材料结构和技术特点,描述了SOI的分类应用,讨论了SOI的前景和我国发展SOI技术需要解决的问题。

关键词： 半导体技术 集成电路 硅材料 SOI技术

作者: 朱爱倩

作者单位: 上海新傲科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 112-114,99

在线出版日期: 2003-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）