新一代硅——SOI技术的发展动向

摘要：

本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况。

关键词： 半导体技术 集成电路 硅材料 SOI技术

作者: 林成鲁

作者单位: 中科院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 107-111

在线出版日期: 2003-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）