集成电路制造工艺的Cpk及6σ水平评价

摘要：

本文分析了一些计算Cpk不准确的方法,进而提出了正确的优化计算方法,同时阐述Pσ设计,以及其对于成品率,DPMO的相互换算的方法,并且自行开发了相应软件计算Cpk,以及在高计算精度要求下,实现Pσ设计与成品率,DPMO相互间的换算.

关键词： 集成电路 制造工艺 优化评价

作者: 曾臣 贾新章

作者单位: 西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会

会议地点: 福建武夷山

会议语种:中文

页码: 303-307

在线出版日期: 2006-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）