混合集成电路内部气氛研究

摘要：

本文介绍了混合集成电路内部气氛控制办法.文章从截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果.

关键词： 集成电路 电路封装 内部气氛 水汽含量

作者: 肖玲

作者单位: 中国电子科技集团公司第24研究所,重庆,400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 安徽黄山

会议语种:中文

页码: 291-296

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）