不同波长激光电阻修调的对比研究

摘要：

本文对不同波长激光电阻修调进行了对比研究。文章用更短波长的激光进行电阻修调,并将结果与传统的1m波长的修调技术进行了比较。

关键词： 微电子电路 电阻调整 激光修调

作者: 顾波

作者单位: GSI Lumonics公司,MA 01887,USA

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 安徽黄山

会议语种:中文

页码: 115-118

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）