厚膜电位器膜层质量控制研究

摘要：

本文对厚膜电位器膜层质量控制进行了研究。文章分析了影响膜层外观质量的各种现象,探讨了产生这些现象的原因,提出了针对性的改进措施。

关键词： 厚膜电位器 膜层质量 工艺控制

作者: 王万一

作者单位: 中国兵器工业第214研究所,蚌埠,233042

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 安徽黄山

会议语种:中文

页码: 111-114

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）