统计过程控制技术在印刷工序的应用

摘要：

本文从厚膜混合集成电路生产线应用统计过程控制(SPC)技术的需求、意义、实施方案等入手,结合厚膜混合集成电路的工艺特点,给出厚膜混合集成电路印刷工序应用SPC技术的方法.

关键词： 厚膜集成电路 混合集成 印刷工序

作者: 廉大桢 刘军

作者单位: 陕西华经微电子股份有限公司,西安,710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 安徽黄山

会议语种:中文

页码: 103-107

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）