工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用

摘要：

本文介绍了工序能力指数的基本概念,阐述了在混合集成电路生产线中实施CPK评价的实践和流程,指出了存在的问题,并从工序能力分析的角度论述了6σ设计目标。

关键词： 集成电路 电路制造 工序能力

作者: 邓洁

作者单位: 中国电子科技集团公司第43研究所,合肥,230022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 安徽黄山

会议语种:中文

页码: 434-441

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）